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ASO-X350Y500系列高精度龍門雙驅(qū)二維氣浮平臺(tái)
ASO-X350Y500系列高精度龍門雙驅(qū)二維氣浮平臺(tái)
ASO系列的共面氣浮結(jié)構(gòu)平臺(tái)主體結(jié)構(gòu)材質(zhì)均采用大理石，膨脹系數(shù)小，更有利于保證系統(tǒng)的整體精度。兩軸均采用無(wú)鐵芯的直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)，控制上通過(guò)ACS控制器內(nèi)部交叉解耦控制算法保證雙驅(qū)軸的運(yùn)動(dòng)同步。反饋系統(tǒng)上可以根據(jù)實(shí)際需要采用增量、sin/cos以及絕對(duì)值的反饋方式，可以更好的適用于多種場(chǎng)合。氣浮導(dǎo)軌具有固有平均效應(yīng)，可以極大限度的提高性能，可以有效的保證較高的重復(fù)性，俯仰偏擺以及直線度等指標(biāo)。
特點(diǎn)
• 所有軸均采用真空預(yù)載
• 采用共面氣浮的結(jié)構(gòu)
• 高速，高響應(yīng)的整定時(shí)間
• Y軸雙氣導(dǎo)軌整體研磨成型
典型應(yīng)用
ASO龍門氣浮非常適用于高精度應(yīng)用，精密掃描以及半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的應(yīng)用。由于運(yùn)動(dòng)無(wú)摩擦，不會(huì)形成顆粒，ASO氣浮平臺(tái)非常適用于無(wú)塵室應(yīng)用。
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