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ETSA高精度氣浮平臺系列
氣浮平臺克服了傳統(tǒng)機械定位臺行程短，響應(yīng)滯后大，摩擦阻力等不足，實現(xiàn)了長行程高精度與高速定位功能，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備，精密測量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有不可替代的作用。重復(fù)定位精度高，俯仰偏擺角度小，運動臺與導(dǎo)軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會出現(xiàn)氣浮臺常見的“抱死”現(xiàn)象。通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構(gòu)運動精度、表面平滑、微小偏差（俯仰，偏擺等）、性能穩(wěn)定、沒有機械損耗、“零”摩擦可使其進(jìn)入納米級應(yīng)用。
典型應(yīng)用
• 精密加工 • 精密測量
• 微電子制造業(yè) • 光刻機平臺
• 半導(dǎo)體加工業(yè) • 掃描
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ETSA-300三維模型圖.x_t
大?。?/span>2020-09-08 13:56:09
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